工业废气处理中控制氮氧化物(NOx)的污染通常采用改进工艺和设备、改进燃烧、净化处理及高烟囱排放等方法。目前采用的净化处理NOx的方法很多，主要可分为催化还原法、液体吸收法和吸附法三大类。
催化还原法是在催化剂作用下，利用还原剂将NOX还原为N2该法脱除效率高，设备紧凑、操作平稳、能回收热能，但投资和运转费均较高，且要消耗有用的氨或燃料气，NO。被还原成无用的N2而放空。
用液体吸收法吸收废气中的NOx，工艺简单，投资少，可根据具体情况选择吸收液，能以硝酸盐等形式回收NQ，从而达到综合利用的目的。但吸收效率不高，对含NO较多的废气净化效果差，且不宜处理气量很大的废气。
吸附法对NOx的脱除效率很高，且能回收NOx。由于吸附容量较小，需要吸附剂量大，因而设备庞大，投资大，运转中动力消耗也大。
工业废气处理除上述三类方法外，还有氯一氨还原法、石灰一石膏法、电子束照射法、高温还原法等。其中石灰一石膏法可同时脱除烟气中的S02和NOx，是一种值得重视的方法。
