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电子半导体废气治理方案

发布日期:2022-12-16浏览次数:7924

  电子半导体废气治理方案


  电子厂半导体筒式沸石转轮技术,在实际设计中,需要加洗涤塔作为预处理装置,来拦截粉尘和易溶性的酸碱废气。


  半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。


  半导体制造工艺产生的挥发性有机废气,主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序,与半导体制造工艺相比,半导体封装工艺产生的有机废气较为简单,主要为晶粒粘贴、封胶后烘烤过程产生的烘烤废气


  针对电子厂半导体行业有机废气和毒性气体的治理,筒式沸石转轮废气处理技术的净化原理是:


  将普通的220V/380V交流电通过变压器,变频器转换为高频高压的电压,产生足以击穿气体的电压,释放出高能电子,高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键,断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体,等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳,氧原子和氢原子结合形成水分子,终产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

电子半导体企业废气沸石转轮废气处理工艺

  我公司定制的半导体有机废气处理系统方案,VOCs排放浓度符合当地的排放标准,在半导体行业中该系统设备更科学、更安全、高效率的解决废气问题,性价比更高,且无二次污染。

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