半导体芯片废气烟尘净化方案

发布日期：2022-09-07浏览次数：6501

　　半导体芯片废气烟尘净化方案

　　半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

　　废气特点：半导体芯片生产线废气具有排气量大、浓度小的特点。

　　某某电子厂车间生产的3条线产生的废气来源，处理风量在30000，每条生产线都安装了吸风罩，采用喷淋塔吸收后进入主管道到达风机排放，该项目从制作到安装总共花了25天周期，验收符合排放标准。

　　半导体企业车间会产生酸气，那么半导体酸气处理方法就采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

电子半导体行业废气处理简单描述